高速光学扫描
的nSpec®是快速和完全自动化的。您可以在您选择的查看模式下快速扫描样本,系统将根据您设置的阈值和报告参数自动分析、分类和报告缺陷。
我们已经建立了一个复杂的算法的检测,分类和提高分辨率的成像和自动化硬件。这包括通过图像重建超越阿贝极限的专利方法,更新类型的稀疏数据AI,创建最快纳米地形的计算机视觉技术,以及智能自动化传统手工过程的系统。
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的nSpec®使用自动非接触测点方法快速确定三维关键尺寸。
在每个节点上,晶圆检测变得越来越具有挑战性,成本也越来越高。将集成电路推向市场的生产过程前置时间正在增加。复杂的检查、测试和验证过程可能会造成延迟。
该过程检测由掩模或曝光过程引起的粒子和缺陷团簇引起的缺陷。缺陷图报告所有检测到的缺陷,该过程适用于非常大的设备,并在无差别高频特征区域检测缺陷。
对人工智能前沿的思考。机器学习和计算机复制人类大脑的能力。
虽然定义很好,但系统放大和分辨率经常被误解。我们真正关心的是系统分辨率——系统量化图像细节的能力。
本文讨论了一种分辨率小于1微米的反射光方法。该方法通过机械的小增量移动样品来避免可见光的衍射极限。