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nSpec®CPS

概述 特性 规格
nSpec CPS

nSpec®CPS

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人工智能自动检测

一个复杂的图像处理检查工具，提供可定制性和灵活性，以及可靠的，高度可重复的结果。人工智能增强的检测软件可以训练到用稀疏数据检测缺陷。一旦经过训练，算法就可以导入到生产工具中，用户就可以开始自动地对缺陷和感兴趣的特征进行分类。CPS检测系统生成晶圆上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。

nSpec®CPS

完全自动化的检查:

  • 衬底晶片
  • Epi晶片
  • 有图案的晶片
  • 丁晶片
  • 个人设备
nSpec ®CPS

特性

自动处理晶片 多分辨率设置 快速扫描 可定制的缺陷报告 晶片拼接 各种样品卡盘尺寸，以满足特殊需求 兴趣检测与分类缺陷或特征的鲁棒分析 自动检查和审查程序 多系统同步 占地面积小，设施要求最低 机架安装控件 门互锁

具有自动检查过程的检测功能

188宝金博网页版下载Nanotronics的装载机控制软件具有组片和单片处理功能。CPS检测软件可以将测序保存在配方中，为用户提供高度可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆片，以加快质量控制过程。控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来保证晶圆片的安全。

nSpec®CPS

规范

  • 重量

    540公斤

  • 尺寸(宽×深×高)

    158厘米x 173厘米x 202厘米

  • 分钟。真空要求

    24。Hg (70 kPa)

  • 电力供应

    110 v / 220 v, 30安培

  • 一次运行一盒磁带:

    每盒25片晶圆或FOUP

  • 标准晶片尺寸

    300, 200mm带适配器

  • Pre-Aligner

  • 照明模式:

    Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)

  • 光源

    白光LED，其他选择

  • 目标

    2.5、5、10、20或50倍，用户可选择

  • 旅行,典型的

    X、Y方向350毫米

  • 定位

    带闭环编码器的直线伺服电机(50nm分辨率)

  • 可重复性

    + / - 0.5μm

  • 旅行的平面度

    20μm

  • 建设:

    精密地面滚道和高刚性直线导轨

  • 越来越多的平台

    独立平台集成到机柜系统中

  • 集中载荷容量:

    5公斤

  • AFM

  • 秒/宝石

  • OCR相机

  • 空气离子发生器