nSpec^®宏

独立宏观缺陷检测

188宝金博网页版下载Nanotronics为您的特定晶圆检测要求提供全方位的自动化解决方案，以获得快速结果。nSpec®宏系统专为检测200毫米以下的裸片或有图案的晶圆而设计。最小缺陷分辨率范围从50到100微米，取决于视野或晶圆尺寸。紧凑的缺陷检测系统自动捕获和分析图像，以检测和量化缺陷和感兴趣的特征。nSpec®宏系统提供了完整的样本照明或单独修改led的能力，以调整照明的强度，颜色和位置的完全灵活性。