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nSpec®涡轮增压

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nSpec涡轮

nSpec®涡轮增压

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大批量生产AOI系统

无论用户的具体样品检测要求如何，Nanotronics为获得快速检测结果提供了广泛的制造解决方案。188宝金博网页版下载nSpec®Turbo检测系统是高控制、大批量生产环境的理想解决方案。该缺陷检测系统运行多个300mm高容量扫描顺序。用户友好的软件使配置食谱变得毫不费力，随着需求的发展，食谱很容易保存和修改。

nSpec®涡轮增压

这300毫米的设计支持:

  • HEPA空气过滤
  • 空气离子发生器
  • 单或双负载端口(200mm和/或300mm)
nSpec ®涡轮增压

特性

自动处理晶片 多种分辨率设置，范围0.3 μm及以上 快速扫描 灵活设置单图像捕获和扫描 各种样品卡盘，以满足特定的需求和手动加载应用 缺陷或特征的兴趣检测和分类的鲁棒分析 检查及检讨程序 多系统同步 占地面积小，设施要求最低 机架安装控件 门互锁 通过缺口或平面自动预对准 晶圆存在，交叉槽检测和双堆叠晶圆的映射 200mm盒式适配器用于装载端口 可提供滤轮(12槽，25mm过滤器)

nSpec®涡轮增压

规范

  • 重量

    1200公斤

  • 尺寸(宽×深×高)

    240厘米x 194厘米x 262厘米

  • 分钟。真空要求

    21。Hg (-70 kPa)

  • 电力供应

    208年休假,15一个,50-60Hz

  • 最小清洁干燥空气

    60 psi (415 kPa)

  • 照明模式

    Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)

  • 光源

    白光LED(其他选项)

  • 目标

    包括5倍，1.25倍，2.5倍，10倍，20倍，或50倍，用户可选择(5位炮塔)

  • 旅行,典型的

    X、Y方向350毫米

  • 定位

    带闭环编码器的直线伺服电机

  • 建设

    精密地面滚道和高刚性直线导轨

  • 越来越多的平台

    独立平台集成到机柜系统中

  • 为中心的负载能力

    12.5公斤

  • 秒/宝石

  • OCR:正面和/或背面可用

  • 空气离子发生器º

  • e - 84接口可用

  • 光窗帘可用

  • N2吹扫加载端口可用