经常问的问题
该系统是否能够进行临界维度测量？
是的。该系统能够进行临界维度测量，例如特征测量和线路宽度。
您提供NIST校准标准吗？
是的。应要求我们提供NIST校准标准。我们的标准校准是用于像素校准的。
NSPEC系统有多大？
我们桌面NSPEC的好处之一®检查系统是其紧凑的大小-32.63W x 36.73h x 32.63d。如果将系统与自动晶圆装载机配对，则尺寸为44.63W x 36.73h x 32.63d
系统是否配有PC？
是的。标准系统配备了具有强大规格的PC，可实现超分辨率图像处理。
系统需要隔离表吗？
该系统不需要隔离表，但是如果您想使用原子力显微镜镜头或以20倍或更多的高分辨率检查，建议使用隔离表。我们的全自动系统包括TMC 63-561隔离表。
系统是研发或生产工具的实验室工具吗？
两者都是。该系统可以用作研发的实验工具，也可以用作生产工具。我们还可以自定义系统以满足您的特定需求。
系统可以分类哪些类型的缺陷或功能？
无论是坑，划痕，裂缝，颗粒还是任何其他功能，都可以自定义系统以确切检测您想要找到的东西。该系统具有人工智能分析仪和训练AI分析仪与显示缺陷的样本并命名您想要用于这些缺陷的分类一样简单。经过几次“学习”课程后，AI分析仪将自动识别并对这些缺陷进行分类。该系统还包括一种设备检查方法，该方法可以构建理想的设备模板，并将其与其他设备进行比较，并标记与理想模板偏离的任何区域。
系统会自动聚焦吗？
是的。该系统具有自动对焦功能。它可以在预定义的位置或每个图像捕获之前自动对焦。该系统使用基于对比度的算法进行自动对焦，该算法允许在完全透明或高度反射的材料上进行自动对焦。
系统是否会自动设置光强度？
是的。如果您希望自动设置光强度，则可以作为用户定义的偏好输入光强度设置，并将优先设置保存为“作业”以供将来使用。
该系统具有OCR功能吗？
系统使用哪种类型的光学器件？
该系统使用Olympus Brightfield/Darkfield目标。
系统使用哪种类型的光源？
标准系统使用白光LED。我们还可以配置具有传输，超光线LED的系统，近距离紫外线，卤素或其他指定的波长。
系统使用哪些照明模式？
标准NSPEC®系统包括Brightfield，Darkfield和DIC（差分干扰对比度/Nomarski）成像模式。该系统还可以容纳各种荧光过滤器，并可以将其他成像模式与标准的Brightfield模式配对。我们还提供可选的发射光源。
什么是最高缺陷或特征分辨率？
在超级分辨率之前，ABBE极限是显微镜分辨率的极限。ABBE限制是由德国物理学家Ernst Abbe在1873年发现的，“极限”解释说，光学成像仪器的分辨能力受光的物理衍射特性有限。这种限制阻碍了光学显微镜的分辨率一个多世纪。但是现在，使用超分辨率技术，可以克服ABBE限制。NSPEC®系统使用超级分辨率，可以检测250纳米尺寸范围内的缺陷。我们还提供了计算显微镜方法，可以检测和分类传统光学显微镜限制的缺陷，以及扫描探针原子力显微镜（AFM）透镜，可以在单纳米范围内提供地形和测量。
系统可以使用过滤器或其他波长光源吗？
是的。该系统可以适应以容纳各种过滤器和光源。
系统是否使用传输光？
是的。可以将系统配置为使用发射光。
系统可以安装多少个目标？
可以安装五个目标。包括的标准目标是5倍，我们提供可选的原子力显微镜（AFM）镜头。还提供其他目标（1.25、2.5、10、20、50和100X）。
相机有多少百万像素？
相机为6兆像素，典型的像素尺寸为5.5微米，帧速率为17.4 fps。
您提供颜色成像吗？
是的。该系统可以配备彩色摄像头进行想象。图像分析在灰度中，除了AI分析仪执行的分析。
视野有多大？
视场是3296 x 2472像素。检测1µm及以上缺陷的典型视野为2.5mm x 2mm。
DIC照明模式使用哪种类型的棱镜？
该系统使用Nomarski Prism进行DIC照明。
多个系统会通信吗？
是的。我们的一位客户在制造过程的各个步骤中使用12个系统，并且所有系统相互通信。
系统是否具有SEC/GEM功能？
是的。该系统具有SEC/GEM兼容性。
该系统是否与MES应用程序集成？
是的。我们的软件团队将与您的工程师一起启用NSPEC之间的消息传递®和您的制造执行系统。
系统可以分析从其他系统（例如SEM）中获取的图像吗？
是的。可以分析来自其他系统（例如SEM）的图像的能力。
可以扫描哪些类型的样品？
我们可以扫描半导体，陶瓷，聚合物和透明样品。
我怎么知道该系统是否适用于我的样品和应用程序？
我们的解决方案团队将倾听您的检查挑战，并与您一起找到最适合您需求的解决方案。我们将使用您提供的样品来演示我们挑战的检查解决方案。
系统可以检查透明样品，例如玻璃和光学元件吗？
是的。该系统可以检查透明样品，例如玻璃和光镜。
系统可以检查织物和材料吗？
是的。该系统可以检查各种底物，包括织物和材料。
系统可以扫描条形码读取器样本ID吗？
是的。该系统允许操作员使用条形码读取器扫描样本ID。
扫描样品需要多长时间？
样品的扫描时间取决于所需的分辨率和样本量。例如，以0.908 UM/像素分辨率为100mm的样品需要六分钟才能扫描。
可以扫描的最大样品区域是什么？
标准为200mm x 200mm，但我们也提供300mm的系统。如果您需要大于300mm的东西，我们还可以为您创建自定义检查解决方案。
您可以容纳定制的样品吗？
是的。我们将设计一个解决方案以满足您的需求。
系统是否具有自动晶圆处理程序？
是的。该系统处理程序是为晶片设计的，但是我们的自动化团队可以轻松设计一个自定义处理程序，以与您要检查的任何基板一起工作。
晶圆装载机可容纳什么尺寸范围？
晶圆装载机可以容纳2到8英寸的晶圆。提供了一个全自动的晶圆处理系统，我们可以为非滤器应用定制自动化处理设备。
系统可以容纳边缘排除吗？
是的。该系统可以容纳边缘排除，并且可以根据需要调整排除区域。
系统可以在箍环上检查切丁的晶圆吗？
是的。我们的标准样品Chuck可以在箍环上容纳切成丁的晶圆。我们还可以容纳凝胶包，口罩和破碎的碎片。我们将自定义样品卡盘和固定装置，以满足您的特定需求。
系统可以检查图案化的晶圆吗？
是的。该系统将成像理想的图案，并创建一个与其他模式进行比较的金模板，任何明显的偏差都标记为缺陷。
是否可以使用3D地形扫描模式进行表面粗糙度测量？
是的。表面粗糙度可以使用地形数据计算。NSPEC®可以使用快速的非接触光学方法以亚微米分辨率捕获3D地形。
3D扫描是否接触表面？
是的，否。我们可以调整适合您需求的解决方案。如果您不想使用表面触点，我们可以使用焦点堆叠方法创建3D地形，或者我们可以获取相同表面视点的几张图像，但从不同的方向照亮，这样做将显示3D表面细节。如果您需要亚微米分辨率，则使用表面接触。我们有一个原子力显微镜（AFM）镜头进行表面接触检查。
3D地形的最高分辨率是什么？
X的最大3D地形分辨率为0.200µm，Y轴分辨率为Z轴分辨率约70nm。我们还提供具有1.7nm X，Y轴分辨率和0.34nm Z轴均匀分辨率的可选原子力显微镜镜头（AFM）。
人工智能分析仪如何工作？
人工智能分析仪识别模式并从计算出的数据中产生见解。训练AI分析仪很简单，就像显示出缺陷的样本并命名您想要用于这些缺陷的分类。经过几次“学习”课程后，AI分析仪将自动识别并对这些缺陷进行分类。
您提供软件更新吗？
是的。我们正在不断更新我们的软件。我们的软件更新可以远程安装，或者如果您愿意，或者如果不可用的远程访问，我们的技术服务团队的成员将在现场为您安装软件更新。
该软件可以安装在工作站上吗？
是的。该系统可以安装在工作站上。该软件也可以安装在计算机上，仅用于图像分析。
系统使用哪些类型的图像分析技术？
我们使用基本的阈值，计算机视觉，基于黄金模板和人工智能图像分析技术。我们的分析表明了分配因果关系的收益率和帮助，因此您可以快速调整过程。
系统是否具有宏扫描和分析功能？
是的。该系统可以捕获宏观缺陷并在几秒钟内分析它们。
系统可以导入Klarf进行缺陷审查吗？
是的。该系统可以以Klarf格式导入和导出。该系统可以在导入的KLARF文件上查看缺陷。
扫描和分析数据的输出是什么？
我们可以导出到Klarf，CSV和XML格式。
您是为个人客户或应用程序定制软件吗？
是的。我们将自定义软件以满足客户的需求和其他特殊应用程序。
我可以请求新功能或硬件修改吗？
是的。您可以随时请求新功能或硬件修改。我们的自动化团队为客户定制设计了许多修改。
系统中是否包括培训？
该系统包括两天的培训。
设置新的检查食谱需要多长时间？
可以在几分钟内设置食谱，并保存为“工作”供将来使用。