具有自动检查过程的检测功能
188宝金博网页版下载Nanotronics的装载机控制软件具有组片和单片处理功能。CPS检测软件可以将测序保存在配方中,为用户提供高度可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆片,以加快质量控制过程。控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来保证晶圆片的安全。
nSpec®CPS
一个复杂的图像处理检查工具,提供可定制性和灵活性,以及可靠的,高度可重复的结果。人工智能增强的检测软件可以训练到用稀疏数据检测缺陷。一旦经过训练,算法就可以导入到生产工具中,用户就可以开始自动地对缺陷和感兴趣的特征进行分类。CPS检测系统生成晶圆上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。
nSpec®CPS
188宝金博网页版下载Nanotronics的装载机控制软件具有组片和单片处理功能。CPS检测软件可以将测序保存在配方中,为用户提供高度可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆片,以加快质量控制过程。控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来保证晶圆片的安全。
nSpec®CPS
540公斤
158厘米x 173厘米x 202厘米
24。Hg (70 kPa)
110 v / 220 v, 30安培
每盒25片晶圆或FOUP
300, 200mm带适配器
Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
白光LED,其他选择
2.5、5、10、20或50倍,用户可选择
X、Y方向350毫米
带闭环编码器的直线伺服电机(50nm分辨率)
+ / - 0.5μm
20μm
精密地面滚道和高刚性直线导轨
独立平台集成到机柜系统中
5公斤