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nSpec®LS

概述 特性 规格
nSpec LS

nSpec®LS

结合光学显微镜、计算超分辨率、人工智能和机器人技术，Nanotronics将世界上最先进的显微镜带到每个制造业部门。188宝金博网页版下载

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世界上最先进的检测工具

检查系统设计允许简单的设置重复质量控制测试，除了单个图像捕获或扫描设置。配置选项包括晶圆尺寸、要识别的缺陷类型和扫描分辨率。可选的晶圆装载机和各种样品卡盘可满足特定的需求。

nSpec®LS

光学检查:

  • 衬底晶片
  • Epi晶片
  • 有图案的晶片
  • 丁晶片
  • 个人设备
nSpec ®LS

特性

多分辨率设置 快速扫描 晶片拼接 可定制的缺陷报告 晶圆大小、缺陷类型和扫描分辨率的配置选项 样品夹头尺寸满足特殊需求

nSpec®LS

规范

  • 旅行,典型的

    X、Y方向200mm

  • 集中载荷能力

    2.27公斤

  • 可重复性

    + / - 0.5μm

  • 步长

    0.04μm

  • 旅行的平面度

    30μm

  • 重量

    54公斤

  • 限位开关

    机械、non-adjustable

  • 威化真空吸盘(可选)

    可调至50、75、100、150、
200或300毫米

  • 白照明:

    LED(其他选项)

  • Brightfield /暗视野的目标:

    5、10、20或50倍，用户可选择

  • 微分干涉对比:

    (Normarski)

  • 舞台，焦点，鼻翼，照明，相机

    用户操作手册