F.A.Q.
系统是否能够进行关键尺寸测量?
是的。该系统能够进行关键尺寸测量，如特征测量和线宽。
你们提供NIST校准标准吗?
是的。根据要求，我们提供NIST校准标准。我们的标准校准是像素校准。
这个系统有多大?
我们的桌面nSpec的好处之一®系统的特点是其紧凑的尺寸——32.63 w x 36.73H x 32.63 3d。如果将该系统与自动装片机配对，尺寸为44.63W x 36.73H x 32.62 3d
这个系统有PC机吗?
是的。标准系统配备了一台功能强大的PC机，支持超分辨率图像处理。
系统是否需要一个隔离表?
该系统不需要隔离台，但如果您想使用原子力显微镜镜头或在20倍或以上的高分辨率下检查，建议使用隔离台。我们的全自动系统包括一个TMC 63-561隔离台。
该系统是用于研发的实验室工具还是生产工具?
两者都有。该系统可以作为研发的实验室工具，也可以作为生产工具。我们还可以定制系统，以满足您的具体需求。
系统可以对什么类型的缺陷或特征进行分类?
无论是坑，划痕，裂缝，颗粒或任何其他特征，该系统可以定制，以准确地检测您想要发现的东西。该系统有一个人工智能分析仪，训练AI分析仪非常简单，只需向它显示缺陷的样本，并为那些缺陷命名您想要使用的分类。经过几次“学习”后，AI分析器将自动识别和分类这些缺陷。该系统还包括一种设备检查方法，可以构建一个理想的设备模板，并将其与其他设备进行比较，并标记任何偏离理想模板的区域。
系统是否自动对焦?
是的。该系统具有自动对焦功能。它可以自动对焦在预定义的位置或在每个图像捕获之前。该系统使用基于对比度的自动对焦算法，允许对完全透明或高反射材料自动对焦。
系统是否自动设置光强?
是的。如果您想要自动设置光强，您可以输入光强设置作为用户定义的首选项，并将您的首选项设置保存为“作业”，以供将来使用。
系统是否具有OCR功能?
系统是否具有OCR功能?
该系统使用什么类型的光学器件?
该系统使用奥林巴斯明场/暗场目标。
系统使用什么类型的光源?
标准系统使用白光LED。我们还可以配置一个传输的、超亮的LED、近紫外、卤素或其他指定波长的系统。
系统使用什么照明模式?
标准的nSpec®系统包括亮场、暗场和DIC(差分干涉对比度/Nomarski)成像模式。该系统还可以容纳各种荧光过滤器，并可以将其他成像模式与标准亮场模式配对。我们还提供可选的传输光源。
最高的缺陷或特征分辨率是什么?
在超分辨率之前，阿贝极限是显微镜分辨率的极限。阿贝极限是1873年由德国物理学家恩斯特·阿贝发现的，这个“极限”解释了光学成像仪器的分辨能力受到光的物理衍射特性的限制。这一限制阻碍了光学显微镜的分辨率长达一个多世纪。但现在有了超分辨率技术，阿贝极限就可以克服了。的nSpec®系统采用超分辨率，可检测250纳米尺寸范围内的缺陷。我们还提供了计算显微镜方法，可以检测和分类超越传统光学显微镜的缺陷，以及扫描探针原子力显微镜(AFM)透镜，可以提供在单纳米范围内的形貌和测量。
该系统是否可以使用滤光片或其他波长的光源?
是的。该系统可以适应各种滤光片和光源。
系统是否使用透射光?
是的。该系统可配置为使用透射光。
系统上可以安装多少个目标?
可以安装五个目标。标准物镜包括5倍，我们提供一个可选的原子力显微镜(AFM)镜头。其他的目标(1.25,2.5,10,20,50和100x)也可以使用。
这台相机有多少万像素?
这款相机有600万像素，典型像素尺寸为5.5微米，帧率为每秒17.4帧。
你们提供彩色成像吗?
是的。该系统可配备彩色摄像机进行想象。除人工智能分析仪执行的分析外，图像分析是灰度的。
视野有多大?
视野是3296 x 2472像素。检测1 μ m及以上缺陷的典型视野为2.5mm x 2mm。
DIC照明模式使用什么类型的棱镜?
该系统使用诺玛尔斯基棱镜进行DIC照明。
多个系统通信吗?
是的。我们的一个客户在生产过程的不同步骤使用12个系统，所有的系统彼此通信。
系统是否具有SECS/GEM能力?
是的。系统兼容SECS/GEM。
系统是否与MES应用程序集成?
是的。我们的软件团队将与您的工程师合作，使nSpec之间的消息传递成为可能®以及你的生产执行系统。
该系统能否分析从其他系统(如扫描电镜)获得的图像?
是的。分析来自其他系统(如扫描电镜)的图像的能力是可能的。
哪些类型的样品可以扫描?
我们可以扫描半导体、陶瓷、聚合物和透明样品。
我如何知道该系统是否适用于我的样本和应用程序?
我们的解决方案团队将倾听您的检查挑战，并与您一起寻找最适合您需求的解决方案。我们将使用您提供的样品来演示我们对您的挑战的检验解决方案。
该系统能否检测透明样品，如玻璃和光学材料?
是的。该系统可以检测透明样品，如玻璃和光学透镜。
系统能检查织物和材料吗?
是的。该系统可以检测广泛的基材，包括织物和材料。
系统能扫描条形码阅读器样本ID吗?
是的。该系统允许操作人员使用条形码阅读器扫描样品id。
扫描一个样品需要多长时间?
扫描时间取决于所需的分辨率和样本量。例如，扫描分辨率为0.908 um/像素的100mm样品需要6分钟。
能扫描到的最大样本面积是多少?
标准尺寸是200mm x 200mm，但我们也提供300mm系统，如果您需要大于300mm的尺寸，我们将为您创建定制解决方案。
你们能提供定制尺寸的样品吗?
是的。我们将根据您的需求设计解决方案。
系统是否有自动晶圆处理装置?
是的。该系统处理程序是为晶圆片设计的，但我们的自动化团队可以轻松地设计自定义处理程序，以处理任何您想要检查的基板。
晶圆装载机的尺寸范围是什么?
晶圆处理器可以容纳2到8英寸的晶圆。我们有一个完全自动化的晶圆处理系统，我们还可以为非晶圆应用定制自动化处理设备。
系统能容纳边缘排斥吗?
是的。该系统可适应边缘排除，并可根据需要调整排除区域。
系统能检测环环上的薄片吗?
是的。我们的标准样品夹头可以容纳环状环上的薄片。我们也可以容纳凝胶包，口罩，和碎片。我们将定制样品卡盘和夹具，以满足您的具体需求。
该系统能检测出有图案的晶圆吗?
是的。该系统将成像一个理想的模式，并创建一个黄金模板，与其他模式进行比较，任何显著的偏差都被标记为缺陷。
能否用三维地形扫描方式测量表面粗糙度?
是的。利用地形数据可以计算出表面粗糙度。的nSpec®可以用一种快速、非接触的光学方法捕捉亚微米分辨率的3D地形。
3D扫描是否与表面接触?
是也不是。我们可以根据您的需求定制解决方案。如果你不想使用表面接触，我们可以使用焦点叠加方法创建3D地形，或者我们可以获取多个相同表面视点但从不同方向照射的图像，这样做将揭示3D表面细节。如果需要亚微米分辨率，则使用表面接触。我们有一个原子力显微镜(AFM)镜头用于表面接触检查。
三维地形图的最高分辨率是多少?
三维地形的最大分辨率x为0.200 μ m, y轴为0.200 μ m, z轴约为70nm。我们还提供一个原子力显微镜镜头(AFM)，具有1.7nm x, y轴分辨率和0.34nm z轴分辨率。
人工智能分析仪是如何工作的?
人工智能分析器识别模式并从数据中生成见解。训练AI分析器非常简单，只需向它显示缺陷的样本并命名您想要用于这些缺陷的分类。经过几次“学习”后，AI分析器将自动识别和分类这些缺陷。
你们提供软件更新吗?
是的。我们正在不断更新我们的软件。我们的软件更新可以远程安装，或者如果您愿意，或者如果远程访问不可用，我们的技术服务团队的成员将现场安装软件更新。
该软件可以安装在工作站上吗?
是的。该系统可以安装在工作站上。该软件也可以安装在计算机上，仅用于图像分析。
该系统使用了哪些类型的图像分析技术?
我们使用了基本的阈值化、计算机视觉、基于黄金模板和人工智能图像分析技术。我们的分析显示了产量，并有助于确定因果关系，因此您可以快速调整您的过程。
系统是否具有宏扫描和分析功能?
是的。该系统可以捕获宏观层次的缺陷并在几秒钟内对其进行分析。
系统是否可以导入KLARF进行缺陷评审?
是的。系统支持KLARF格式的导入导出。系统可以检查导入的KLARF文件的缺陷。
扫描和分析数据的输出是什么?
我们可以导出到KLARF、csv和xml格式。
您是否为个人客户或应用程序定制软件?
是的。我们将定制软件，以满足客户的需求和其他特殊应用。
我可以要求一个新的功能或硬件修改吗?
是的。您可以随时要求新功能或硬件修改。我们的自动化团队为我们的客户定制设计了许多修改。
培训是否包含在系统中?
该系统包括两天的培训。
建立一个新的检验配方需要多长时间?
菜谱可以在几分钟内设置好，并保存为“作业”供将来使用。