nSpec®LS
世界上最先进的检测工具
检查系统设计允许简单的设置重复质量控制测试，除了单个图像捕获或扫描设置。配置选项包括晶圆尺寸、要识别的缺陷类型和扫描分辨率。可选的晶圆装载机和各种样品卡盘可满足特定的需求。
nSpec®LS
光学检查:
- 衬底晶片
- Epi晶片
- 有图案的晶片
- 丁晶片
- 个人设备
nSpec
®LS
特性
多种分辨率设置
快速扫描
晶片拼接
可定制的缺陷报告
晶圆大小、缺陷类型和扫描分辨率的配置选项
样品夹头尺寸满足特殊需求
nSpec®LS
规范
- 旅行,典型的
X、Y方向200mm
- 中心负载能力
2.27公斤
- 可重复性
±0.5 μm
- 步长
0.04μm
- 旅行的平面度
30μm
- 重量
54公斤
- 限位开关
机械、non-adjustable
- 威化真空吸盘(可选)
可调至50、75、100、150、 200或300毫米
- 白照明:
LED(其他选项)
- Brightfield /暗视野的目标:
5、10、20或50倍，用户可选择
- 差分干涉对比:
(Normarski)
- 舞台，焦点，鼻翼，照明，相机
手动操作