NSPEC®

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独立的宏观检查

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独立的宏观检查

188宝金博网页版下载Nanotronics提供了全方位的解决方案,可为您的特定晶圆检查要求获得快速结果。NSPEC®宏观系统设计用于检查最高200mm的裸露或图案化的晶片。最小缺陷分辨率从50至100微米范围内,包括视场或晶圆大小。单独修改LED以调整照明的强度,颜色和位置,以完全灵活。

NSPEC®

钥匙特征

  • 完全独立
  • 多工具可共享的工作
  • 具有可调参数的基本分析
  • 滑动样品阶段以容易加载
  • 单个按钮操作

NSPEC®

规格

  • 重量

    15公斤

  • 维度(w x d x h)

    35厘米x 41厘米x 48厘米

  • 电源

    100-240VAC,50/60Hz,1.0-2.0a

  • 标准样本量

    50、75、100、150或200mm