NSPEC®宏
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独立的宏观检查
188宝金博网页版下载Nanotronics提供了全方位的解决方案,可为您的特定晶圆检查要求获得快速结果。NSPEC®宏观系统设计用于检查最高200mm的裸露或图案化的晶片。最小缺陷分辨率从50至100微米范围内,包括视场或晶圆大小。单独修改LED以调整照明的强度,颜色和位置,以完全灵活。
NSPEC®宏
钥匙特征
- 完全独立
- 多工具可共享的工作
- 具有可调参数的基本分析
- 滑动样品阶段以容易加载
- 单个按钮操作
NSPEC®宏
规格
- 重量
15公斤
- 维度(w x d x h)
35厘米x 41厘米x 48厘米
- 电源
100-240VAC,50/60Hz,1.0-2.0a
- 标准样本量
50、75、100、150或200mm