具有自动化检查过程的功能
188宝金博网页版下载纳米人的装载机控制软件具有组和单个晶圆处理。该软件可以将测序保存在食谱中,以使用户可重复的结果。该软件还允许您标记晶圆速度加快质量控制过程。该控制软件通过报告和处理所有运动控制错误来确保晶片的安全。
NSPEC®CPS
具有可靠性和灵活性的复杂图像处理检查工具,以及可靠的,高度可重复的结果。可以培训AI增强软件以检测缺陷的数据稀疏数据。经过培训后,可以将算法导入到生产工具中,并且用户可以自动对感兴趣的缺陷和功能进行分类。该系统生成了晶圆上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。
NSPEC®CPS
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NSPEC®CPS
540公斤
158厘米x 173厘米x 202厘米
24英寸HG(70 kPa)
110V/220V,30安培
每个盒式盒子或合伙人25晶片
300,200mm带适配器
Brightfield,Darkfield,DIC(Nomarski)
白光LED,其他可用的选项
2.5、5、10、20或50X,用户可选
350毫米x和y方向
带闭环编码器的线性伺服电动机(分辨率为50 nm)
+/-0.5μm
20μm
精密地面赛道和高分子线性指南
隔离平台集成到机柜系统中
5公斤