NSPEC®涡轮
NSPEC®涡轮
学到更多300mm高量制造AOI系统
无论用户的特定样品检查要求如何，纳米惯乘量都提供了广泛的解决方案，以获得快速结果。188宝金博网页版下载NSPEC®涡轮增压是高度控制，大容量制造环境的理想系统。该系统顺序运行多次扫描。用户友好的软件使配置食谱几乎毫不费力，并且随着需求的发展，食谱易于保存和修改。
NSPEC®涡轮
这个300mm设计支持：
- HEPA空气过滤
- 空气离子化器
- 单个或双负载端口（200mm和 /或300mm）
NSPEC
®涡轮
特征
自动晶圆处理
多个分辨率设置，范围为0.3μm和更大
快速扫描
单个图像捕获和扫描的灵活设置
各种样品袋，以满足特定需求和手动加载应用
对缺陷或感兴趣检测特征的强大分析
检查和审查程序
多系统同步
小占地面积和最小设施要求
机架安装控件
门互锁
Notch或Flat的自动主持
映射晶圆存在，跨插槽检测和双堆放晶片
200mm盒式装载端口适配器
可用过滤轮（12个插槽，25毫米过滤器）
NSPEC®涡轮
规格
- 重量
1200公斤
- 尺寸（w x d x h）
240厘米x 194厘米x 262厘米
- 最小真空需求
21英寸HG（-70 kPa）
- 电源
208VAC，15A，50-60Hz
- 最小清洁干燥空气
60psi（415 kPa）
- 照明模式
Brightfield，Darkfield，DIC（Nomarski）
- 光源
白光LED（其他可用选项）
- 目标
包括5倍，1.25、2.5、10、20或50x，用户可选（5位置炮塔）
- 旅行，典型
350毫米x和y方向
- 定位
线性伺服电动机带有闭环编码器
- 建造
精密地面赛道和高刚性线性指南
- 安装平台
隔离平台集成到机柜系统中
- 中心负载能力
12.5公斤
- 秒/宝石
- OCR：前边和/或背面可用
- 空气离子剂
- E-84接口可用
- 轻窗帘可用
- N2清除负载端口可用